证券时报记者 朱凯

3年前的7月22日，科创板首批25家公司在上海证券交易所鸣锣上市，标志着设立科创板并试点注册制这一重大改革任务正式落地。

有目共睹的是，时至今日科创板市场已集聚了一批集成电路、生物医药、高端装备制造等领域的科创企业，“硬科技”成色逐步显现。改革的“试验田”作用得到较好发挥，在发行、上市、交易、退市、再融资、并购重组等方面进行了一系列制度创新，形成了可复制可推广的经验，为创业板等存量市场改革提供了有益借鉴。

近日，接受记者采访时，中微公司董事长尹志尧表示，近年来我国半导体设备行业整体水平正不断提高。公司在主要客户的市场占有率稳步提升，在MOCVD设备领域，公司用于氮化镓基LED外延生产的MOCVD设备已在行业领先客户生产线上大规模投入量产，自2017年起已经成为氮化镓基LED市场份额最大的MOCVD设备供应商，并持续保持在行业内的领先地位。

等离子体刻蚀设备在国际上批量应用

证券时报记者：科创板上市以来，公司募集资金使用情况如何？是否已经产生经济效益？公司在相关关键领域取得了哪些成绩？

尹志尧：科创板上市后，在资本市场的支持下拓宽了融资渠道，进一步提升了创新能力。增强了市场品牌的影响力，获得更多合作机会，实现了加速发展，公司综合优势继续得到强化和提升。其中，中微公司2021年6月完成上市后的定向增发，成功募资约82亿元，给公司的研发、营运、产能建设等项目提供了资金保障。

中微公司以国际先进的研发理念为依托，面向世界先进技术前沿，专注于高端微观加工设备的自主研发和创新。2021年公司营业收入和利润分别创历史新高，分别达到31.08亿元和10.11亿元，是2019年公司科创板上市当年销售额和利润的1.5倍和5.3倍。

截至2021年底，公司共有2300多个反应台服务于亚洲与欧洲50余家芯片制造公司的70余条生产线。2010年到2021年，公司在线装机反应台累计总数保持平均每年超过35%的增长率。公司刻蚀设备的主要客户已覆盖全球主流晶圆制造商，公司MOCVD设备客户已覆盖亚洲主要LED外延片生产商。公司等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米、5纳米以及更先进的集成电路加工制造及先进封装中得到批量应用。

公司的MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商。公司还在开发应用于集成电路后道的先进封装设备，以及MEMS、Mini LED等领域的国际先进设备产品。

证券时报记者：公司所属行业具有哪些特征，该行业与海外相比尚处于哪个阶段？我国推出科创板以来，该状况有多大改观，以及如何看待未来的行业前景？

尹志尧：半导体设备行业是一个全球化程度较高的行业。近年来我国半导体设备行业整体水平正不断提高。例如，中微公司刻蚀设备已应用于全球先进的7纳米和5纳米集成电路加工制造生产线。

公司在主要客户的市场占有率稳步提升，在MOCVD设备领域，公司用于氮化镓基LED外延生产的MOCVD设备已在行业领先客户生产线上大规模投入量产，自2017年起已经成为氮化镓基LED市场份额最大的MOCVD设备供应商，并持续保持在行业内的领先地位。

当前我国集成电路产业在关键核心技术、产业基础、产业投资、产业链整合升级等领域面临机遇和挑战。科创板的推出，对推动我国科创产业的发展起到了重要作用，取得了丰硕成果，赢得了社会各界的广泛赞誉。

证券时报记者：科创板上市之后，在公司治理、研发投入及成果、人才引进培养等方面有哪些变化？如何看待研发投入与创收之间的关系？

尹志尧：中微坚持以“四个十大”为中心，继续发展科创企业的管理章法，依照IC设备、泛半导体设备等三维发展战略，以自主开发和投资并购相结合，保持高速、稳定和安全增长，立志成为国际一流的设备领先公司。

持续高水平的研发投入和提前布局产业发展，是公司保持核心竞争力的关键。公司面向世界先进技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发和创新。公司具有一支技术精湛、勇于创新的国际化人才研发队伍，形成了良好的企业创新文化，为公司持续创新和研发提供保障力量。公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势为公司产品和服务的不断进步提供了有力支持。

公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2021年12月31日，公司已申请2012项专利，其中发明专利1741项；已获授权专利1179项，其中发明专利993项。自2016年以来，中微公司销售额平均增长率达到38%以上。

公司2021年在市场拓展、新品研发和财务表现等方面均进展不俗，产品在关键客户市场的接受度和销售额稳步提升，高端工艺研发进展顺利，新签订单金额同比增长90.5%达41.3亿元，产品付运腔体数由2020年的295 腔增长66.4%达491腔，营业收入同比增长36.7%达31.08亿元，归母净利润同比增长105.5%达10.11亿元。2022 年公司综合优势继续得到强化和提升，各经营指标的增长性在行业中跻身领先企业之一。

为全社会节能降耗贡献中微力量

证券时报记者：请介绍一下在疫情之下，公司各环节业务受到的影响及对策。

尹志尧：面对突如其来的新型冠状病毒肺炎疫情，中微公司研判风险、提前布置、组织严密、精准施策、科学布控、以人为本，坚持防疫情与稳运营两手抓，坚决打赢疫情防控和生产运营双重战役。

疫情初始，中微公司第一时间成立由尹志尧董事长任组长的疫情防控领导小组并下设疫情防控工作组。根据不同阶段的疫情形势，采取科学有效的防疫措施，在确保员工身体健康的同时，极大保障了公司的持续生产和运营。

2022年3月上海的这一轮新冠疫情以来，中微公司领导层迅速响应，根据不断变化的疫情形势，及时调整公司运营模式。3月14日开始部分人员居家办公“降风险”，部分人员进厂作业“保生产”。3月28日上海实施封控管理，公司立即召集138人进厂开始实行闭环运营管理模式，保证持续生产运营不中断。

4月中旬中微公司被纳入第一批复工复产白名单企业，公司就积极组织安排人员申请复工复产。在闭环生产过程中实行网格化管理、采取科学防控措施，在上海这一轮疫情中，取得了封控不停产，运营零感染的成绩。

证券时报记者：“双碳”战略目标下，公司采用了哪些具体举措，取得了怎样的效果？请介绍一下公司相关的社会责任报告或ESG报告的情况。

尹志尧：中微公司关注绿色发展，通过不断探索实践，积极应对气候变化、积极响应碳达峰、碳中和的国家战略。

公司不断改进完善企业相关制度措施，强化EHS管理，践行绿色生产制造，做好日常生产和生活的环境管理，认真履行环境保护职责，开展严格且智能的生产管理。同时通过完善组织机制，运用先进的管理系统，开展多项能效提升项目，致力于绿色生产制造。

公司不仅注重企业自身发展与经济价值创造，还注重倡导产业链上下游环境保护和能源合理利用，助力国家“双碳”目标实现。公司秉持创新引领的思想，积极通过技术创新驱动产业及社会发展。比如，公司在材料的选择方面尽量采用损耗低、工艺稳定性好的材料，同时也在探索和开发一些应用于刻蚀设备的新型涂层材料和技术。

此外，中微公司MOCVD设备是用于制备化合物半导体外延片的关键设备，是被广泛应用于制造通用照明和背光显示的蓝光LED等高效节能的终端设备，通过这些产品的广泛使用，为全社会节能降耗贡献中微力量。

中微公司2022年4月发布了首份“ESG 环境、社会及管治报告”，从产品质量、绿色发展、产业健康、以人为本、规范管理、稳健经营七个方面描述了中微公司在助力环境保护、履行社会责任、完善治理机制方面的一系列举措及成效。