芯源微(688037)3月9日晚发布2021年年报，报告期内，公司实现营业收入8.29亿元，同比增长151.95%；实现净利润7734.95万元，同比增长58.41%。公司拟向全体股东每10股派发现金红利3元（含税）。去年芯源微研发投入增长超过一倍。

芯源微是辽宁省第一家科创板上市公司，产品主要是光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于8/12英寸单晶圆处理及6英寸及以下单晶圆处理。

从芯源微已经披露的年报来看，公司的营收之所以能够同比增长151.95%，主要得益于半导体行业景气度持续向好，公司积极把握市场机遇，加大市场开拓力度，同时持续加大研发投入，产品竞争力不断增强，报告期内新签订单较上年同期大幅增长，收入规模持续增长。而正是因为报告期内公司销售收入增长，所以才使得芯源微2021年净利润同比增长了58.41%。

一直以来，芯源微都十分重视核心技术的自主研发，拥有一系列具有自主知识产权的核心技术，并广泛应用于公司产品的批量生产中。2021年，芯源微持续加大研发投入，其中研发材料、测试费用大幅增加，研发费用同比增长103.68%。截至2021年12月31日，公司共获得专利授权217项。

拥有大量自主研发的核心技术，成功使得芯源微的产品应用于国内一线大厂。芯源微2021年年报显示，公司下游客户覆盖国内主要的集成电路制造后道先进封装企业、LED芯片制造领域企业，与包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电等在内的多家优质客户保持着长期稳定的合作关系。公司在后道领域持续开拓新客户，2021年还积极开拓了日月光、矽品科技、盛合晶微等封装客户。公司将在未来加大力度持续开拓中国台湾以及海外市场。

芯源微在年报当中表示，公司未来将积极建立海外销售体系，培育和拓展海外市场，提升公司品牌的国际影响力，为公司发展创造新的增长点。另外，鉴于我国半导体设备产业链建设仍处于起步阶段，国产半导体设备大量核心部件仍依赖于进口，甚至被单一供应商垄断，且当前国际贸易格局存在不确定因素，因此完善供应链建设势在必行。为此，芯源微将通过联合开发、自主研发、寻找替代供应商等方式降低核心部件成本，巩固核心部件可控性，提升产品综合竞争力。

芯源微目前正在筹划定向增发。根据芯源微此前公告，公司拟定增不超10亿元，将用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目（二期）和补充流动资金等。

2021年年报显示，在公司前十大流通股东当中，银河创新成长混合型基金、国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数基金、博时科创板三年定期开放混合型基金均在去年四季度进行了减持；去年三季度新进前十大流通股东名单的全国社保一一六组合、易方达科创板两年定期开放混合型基金，在年报当中均已不见踪影。

去年四季度，申万菱信新经济混合基金、国信资本有限责任公司，新进成为芯源微前十大流通股东；南方科创板3年定期开放混合型基金则是在去年四季度对芯源微进行了增持。