截至1月15日收盘，光刻机概念上涨2.05%，位居概念板块涨幅第8，板块内，33股上涨，百傲化学、*ST和科等涨停，苏大维格、珂玛科技、江丰电子等涨幅居前，分别上涨15.05%、12.09%、6.89%。跌幅居前的有中光防雷、福光股份、电科数字等，分别下跌5.76%、2.89%、2.88%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入4.67亿元，其中，27股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是新莱应材，今日主力资金净流入1.51亿元，净流入资金居前的还有珂玛科技、大族激光、百傲化学等，主力资金分别净流入1.46亿元、1.07亿元、9281.07万元。

资金流入比率方面，*ST和科、久日新材、蓝英装备等流入比率居前，主力资金净流入率分别为25.29%、13.92%、13.26%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜