截至10月13日收盘，光刻机概念上涨3.20%，位居概念板块涨幅第3，板块内，32股上涨，新莱应材20%涨停，旭光电子、凯美特气、*ST和科等涨停，江丰电子、富创精密、国林科技等涨幅居前，分别上涨14.54%、13.50%、13.39%。跌幅居前的有蓝特光学、大族激光、腾景科技等，分别下跌5.01%、3.72%、3.00%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入0.81亿元，其中，19股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是凯美特气，今日主力资金净流入2.52亿元，净流入资金居前的还有富创精密、旭光电子、波长光电等，主力资金分别净流入1.36亿元、9994.69万元、8793.53万元。

资金流入比率方面，富创精密、凯美特气、南京化纤等流入比率居前，主力资金净流入率分别为9.70%、9.58%、8.95%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜