截至7月1日收盘，光刻机概念上涨2.34%，位居概念板块涨幅第8，板块内，29股上涨，凯美特气、海立股份、旭光电子等涨停，蓝英装备、久日新材、中瓷电子等涨幅居前，分别上涨14.60%、5.93%、4.55%。跌幅居前的有腾景科技、电科数字、富创精密等，分别下跌3.29%、1.20%、1.11%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入8.25亿元，其中，23股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是旭光电子，今日主力资金净流入3.12亿元，净流入资金居前的还有海立股份、凯美特气、芯碁微装等，主力资金分别净流入2.90亿元、5884.65万元、5303.59万元。

资金流入比率方面，*ST和科、旭光电子、海立股份等流入比率居前，主力资金净流入率分别为41.92%、20.54%、18.75%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜