华海清科:12英寸单片终端清洗机出货
来源:证券时报网2023-09-26 17:39

证券时报e公司讯,华海清科(688120)9月26日晚间公告,近日,公司首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业。HSC-F3400机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统,可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。

责任编辑: 周映彤
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