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和远气体：宜昌电子特气产业园拟新增电子级硅烷项目
来源：证券时报网2023-03-08 18:40

证券时报e公司讯，和远气体(002971)3月8日晚间公告，公司的宜昌电子特气及功能性材料产业园项目拟新增电子级硅烷项目。新增的电子级硅烷项目总体规划产能为5000吨/年，投资总预算4883万元。此次新增的电子级硅烷项目所研发和生产的电子级硅烷产品属于半导体、光伏领域氮化硅薄膜沉积工序关键材料。

责任编辑： 刘巧玲
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