2月27日晚间，中微公司(688012)发布2025年度业绩快报。据披露，公司2025年营业收入约123.85亿元，同比增长约36.62%。其中，刻蚀设备销售约98.32亿元，同比增长约35.12%；LPCVD和ALD设备销售约5.06亿元，同比增长约224.23%；2025年归母净利润约21.11亿元，同比增长30.69%。

研发方面，2025年公司研发投入约37.44亿元，较2024年增长12.91亿元，同比增长约52.65%，研发投入占公司营业收入比例约为30.23%。

对于业绩增长的主要原因，中微公司具体归结为，公司主营产品等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。

新产品开发方面，据介绍，中微公司近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场，其中部分设备已获得重复性订单。

同时，中微公司持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位，积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场，并在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得了良好进展，几款MOCVD新产品进入客户端验证阶段。

产能建设方面，据公告，中微公司在南昌约14万平方米的生产和研发基地、上海临港约18万平方米的生产和研发基地已经投入使用，保障了公司销售快速增长。公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准。