盛美上海:推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF
来源:人民财讯作者:许擎天梅2025-09-08 08:18

人民财讯9月8日电,盛美上海(688082)今日宣布推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF,旨在支持半导体前端制造。该系统的问世标志着盛美上海光刻产品系列的重要扩充,具有高产能、先进温控技术以及实时工艺控制和监测功能。首台设备系统已于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户。

责任编辑: 刘巧玲
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