11月初，荷兰光刻机巨头阿斯麦全球高级副总裁、中国区总裁沈波在进博会期间接受媒体采访时表示，今年阿斯麦中国的业务增长很快，预期全年中国占阿斯麦全球的营收会超过20%，对明年在中国的业务也非常地乐观。值得注意的是，今年9月，我国从荷兰进口光刻机同比增长1036%，且第三季度中国大陆的销售额占ASML整体销售额的比重已达46%。

深度科技研究院院长张孝荣在接受金融投资报记者采访时表示，进口量突增是因为明年1月就无法进口先进DUV（只能购买成熟制程光刻机设备），许多半导体公司赶在今年最后几个月，大量集中囤货，以满足未来一段时间的需求。

光刻机板块短期受益

贝恩公司全球商品战略顾问总监潘俊认为，光刻机是半导体制造中的关键设备，其进口量的增加意味着在国内建设和发展半导体制造产业的需求增长。这将推动国内的半导体材料、设备、封装测试等相关产业链的发展，带动相关企业的增长和创新。

根据招商证券11月9日研报，国内光刻机产业链中，系统厂商包括科益虹源、国望光学、国科精密、华卓精科、启尔机电等；上市关键零部件厂商包括福晶科技、腾景科技、炬光科技、茂莱光学、福光股份、波长光电、晶方科技、赛微电子、苏大维格、奥普光电等；光刻机配套检测服务厂商，如东方晶源等。

值得注意的是，炬光科技和福晶科技均披露过与巨头ASML存在供应关系。具体来看，中航证券在9月8日的研报中指出，炬光科技供应光刻机产业链中的光场匀化器，供货给世界顶级光学公司并最终应用于ASML核心设备，同时也应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。

福晶科技在投资者交流平台回答投资者提问时表示，公司前期曾通过欧洲代理向ASML提供过少许光学元件。此外，公司还与美国光学巨头Lumentum有合作关系。据悉，Lumentum是ASML的17家核心供应商之一。

在光刻机制造方面，国产光刻机的主要企业为上海微电子，是我国光刻机制造的领头羊。公开资料显示，其背后的张江高科、上海电气、海立股份、东方明珠等上市公司，通过间接持股或母公司持股与其有一定关联。

11月20日，光刻机板块早盘拉升，西陇科学9天8板，同益股份、强力新材、茂莱光学、晶方科技等跟涨。

不过，张孝荣认为，此番受益是短期的。从近期来看，国内的半导体产业链将受益于光刻机进口量的增加。光刻机是半导体制造过程中最核心的设备之一，其进口量的增加，将带动国内的半导体设备、材料、零部件等相关产业链的发展。同时，光刻机进口量的增加，也将促进半导体制造领域技术创新和提升。

“从远期来看，产业未来存在巨大不确定性。一旦这一批新光刻机报废，国内又没有替代或优化方案，那么整个产业将陷入衰退。”张孝荣说。

启尔机电成关注焦点

全球半导体光刻设备市场规模约231亿美元。2022年，全球光刻机年销量约为500台，主要市场被ASML、Canon、Nikon垄断。其中，高端光刻机ASML处于绝对领先地位。国内方面，根据长江存储、华力集成、华虹无锡2015-2022年的招标数据，共公开采购光刻设备157台，总体国产化率为2.5%。其中，荷兰的阿斯麦中标95台，占比60.5%；日本的佳能和尼康分别中标35台、11台，占比分别为22.3%、7%。国内上海微电子光刻机目前实现国产替代，共中标3台，占比1.9%，未来有待继续突破，实现高端国产替代。

金融投资报记者注意到，近日，多家上市公司在投资者交易平台密集回复投资者关于ASML的相关问题。如凤凰光学、英诺激光、凯美特气、众合科技等。有投资者表示，众合科技旗下的浙江启尔机电，是国内唯一攻克了光刻机核心系统浸液系统，也是目前全球继荷兰ASML与日本NIKON之后，第三家具有光刻机浸液系统研发能力的单位。众合科技回复称，子公司通过杭州昭伯投资管理合伙企业（有限合伙）对启尔机电进行了投资。

众合科技回复该投资者的时间为11月6日，而在11月6日至8日，众合科技股价连续上涨，并达到异常波动标准。紧接着众合科技便收到监管警示函，因互动交易回复不完整、不准确，众合科技及相关人员遭警示。

那么，能让众合科技遭受如此影响的启尔机电究竟是何来路？

据公司官网显示，启尔机电成立于2013年，其前身是浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队，公司主要研发、生产和销售高端半导体装备超洁净流控系统及其关键零部件。值得注意的是，启尔机电背后，站着并不止一家A股上市公司。景兴纸业2022年年报显示，截至当年年末，公司对金浦并购基金有8500万元出资，该基金已完成了对启尔机电的投资；新朋股份与江苏新潮科技集团有限公司合作发起过基金，其中一只名为南京新兴的基金，曾向启尔机电投资3000万元。

另据企查查显示，深圳市创新投资集团有限公司也参投了启尔机电，这家公司背后则有大众公用、深圳能源、粤电力A、广深铁路、中兴通讯等上市公司。此外，间接或直接参投过启尔机电的还有中信证券、中国银行、浙江东方等一众金融机构。

国产光刻机发展潜力大

在张孝荣看来，纯国产光刻机未来发展依然具有庞大的潜力。其表示，虽然当前我国仍主要依赖进口设备，但随着我国半导体产业的快速兴起和政策支持力度的加大，国内光刻机制造企业增强了研发实力和生产能力。

张孝荣认为，国产光刻机在技术研发、性能提升和市场竞争力方面逐渐提高，未来有望在国内市场占据更大份额，并逐步走向国际市场。

“但要注意的是，国产光刻机的发展需要相当长一段时间，或许需要十年八年的时间才能有所突破，但对我国半导体产业链的完善和自主可控能力的提升具有重要意义。”张孝荣说。

天使投资者、资深人工智能专家郭涛也认为，国产光刻机在未来发展中具有重要的战略意义。其表示，我国在高端光刻机领域仍然依赖进口，这对我国的半导体产业发展形成了一定的制约。因此，发展国产光刻机是我国半导体产业自主可控的关键一环。

“国产光刻机的发展需要政府的支持和企业的努力。政府需要进一步加大对光刻机研发和产业化的资金投入，提供政策支持和市场保护。企业可以加强技术研发，提高自主创新能力，并与国内外科研机构合作，加快技术突破和产品推出。技术上，要突破光刻机的关键核心技术，提高分辨率和生产效率。市场上，需要建立完善的供应链体系，降低成本，提高竞争力。”郭涛说。